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等离子清洗机工作时使用的气体有什么

发表时间： 2024-04-17 15:35:50

作者： 凯发一触即发

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等离子清洗机工作时通常使用以下几种气体：1、惰性气体：如氦气、氮气、氩气等，可以提供足够的能量和密度，产生等离子体，作为等离子清洗机的主要工作介质。2、活性气体

等离子清洗机工作时通常使用以下几种气体：


1、惰性气体：如氦气、氮气、氩气等，可以提供足够的能量和密度，产生等离子体，作为等离子清洗机的主要工作介质。


2、活性气体：如氧气、氢气等，通常与惰性气体混合使用，可以增加等离子体的活性，提高清洗效果。


3、碳氟化合物：如CF4、C4F8等，通常用于等离子体刻蚀和清洗塑料、橡胶、金属等材料表面。


4、氯氟化合物：如C2F6、C3F8等，通常用于等离子体刻蚀和清洗硅片、玻璃等材料表面。


不同的等离子清洗机适用于不同的气体，需要根据实际需要进行选择。在选择等离子清洗机时，需要考虑材料表面的清洗要求、清洗剂的种类、清洗时间等因素，以选择最适合的等离子清洗机和气体。同时。以保证等离子清洗的效果和安全性，需要注意气体的纯度和质量。


等离子清洗机工作时使用的气体有什么
等离子清洗机工作时通常使用以下几种气体：1、惰性气体：如氦气、氮气、氩气等。可以提供足够的能量和密度，产生等离子体，作为等离子清洗机的主要工作介质。2、活性气体
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